DOP用于HEPA過濾器效率測量，已有近40年歷史，近幾年來懷疑其所含環苯是致癌物質，現改用DOS DEHS(常用于單分散的)。這些物質對IC及盤片驅動器生產早已認為對產品有害，因此現常用聚苯乙烯乳膠球(SPLs)，粒徑在0.1~1μm的單分散系，可方便進行控制。但有研究認為用DOP測試過過濾器釋放出的DOP量與大氣中含有的DOP量相差不明顯。

DOP等用壓縮空氣把溶液中的液體通過Laskin噴管霧化成多分散系DOP等，粒徑在0.1~lμm，t>0.35μm的占90%以上。單分散系DOP，現常用DEHS，加熱至一定溫度其溶液蒸發然后冷卻之，控制冷卻溫度以控制粒徑。采用多分散的DOP測得的過濾器效率要比用單分散的為高，其間現尚無轉換關系可循。